一种缓存平台
授权
摘要
一种缓存平台,包括放置平台以及设于放置平台四周的支撑柱;放置平台被配置为暂存石英花篮,支撑柱用于石英花篮的导向,确保石英花篮放置于放置平台内,支撑柱至少有四个,分布于放置平台的四周;本实用新型的缓存平台解决了光伏、半导体材料在实际生产中,流水线上空余石英花篮资源浪费的问题,提高了加工效率;支撑柱用于石英花篮的导向,确保石英花篮放位精准,放置于放置平台内;检测装置能够区别放置平台上是否有石英花篮,方便装置的自动化控制;各个零件的可拆卸设计,方便装置的运输以及组装。
基本信息
专利标题 :
一种缓存平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921802541.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-25
授权号 :
CN211238185U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
刘群庞爱锁林佳继林依婷
申请人 :
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 :
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
董世博
优先权 :
CN201921802541.0
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673 H01L21/677 H01L21/66 H01L21/68
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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