一种不等间距舟片的石墨舟
授权
摘要

本实用新型公开了一种不等间距舟片的石墨舟,包括石墨舟本体,所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆,多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上,所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔,多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内,多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽,位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块。本实用新型设计合理,操作方便,便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节,提高镀膜的均匀性,避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象,满足使用需求。

基本信息
专利标题 :
一种不等间距舟片的石墨舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921777403.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-22
授权号 :
CN210974868U
授权日 :
2020-07-10
发明人 :
吴寅何军
申请人 :
无锡鼎桥新能源科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区鹅湖镇荡厚路18号(会通路)
代理机构 :
无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张悦
优先权 :
CN201921777403.1
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458  C23C16/50  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-07-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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