处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口
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摘要
本文公开了一种处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口。所述倾斜窗口具有安装框架，所述安装框架具有主体，所述主体包括第一区段和垂直于所述第一区段延伸的第二区段。所述第二区段具有上表面和底表面，所述第二区段的上表面相对于所述第二区段的底表面以第一锐角倾斜并且相对于所述第一区段以第二锐角倾斜。所述倾斜窗口具有面板，所述面板包括顶表面、底表面和侧壁。所述面板设置在所述安装框架中。所述面板的所述侧壁邻近所述安装框架的所述第一区段。搁置在所述安装框架的所述第二区段的所述上表面上的所述面板的所述底表面相对于所述安装框架的所述第二区段的所述底表面成所述第一锐角。
基本信息
专利标题 ：
处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921753152.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-18
授权号 ：
CN210897191U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
连雷P·韩
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
汪骏飞
优先权 ：
CN201921753152.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 G01B9/02 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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