一种用于加工微纳结构的光镊打印装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台；所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射镜，所述反射镜顺次连接有第三凸透镜、电荷耦合元件CCD。该装置在加工精度和可重复性比化学方法加工的维纳结构更好，在实验复杂性和加工价格方面比聚焦离子束光刻和电子束光刻更好。
基本信息
专利标题 ：
一种用于加工微纳结构的光镊打印装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921718740.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-14
授权号 ：
CN210937654U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
袁运琪闵长俊汪先友张聿全张治斌袁小聪
申请人 ：
深圳大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区南海大道3688号
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
鲍竹
优先权 ：
CN201921718740.3
主分类号 ：
B23K26/064
IPC分类号 ：
B23K26/064 B23K26/352
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/02
工件的定位和观测，如相对于冲击点；激光束的对正、瞄准或聚焦
B23K26/06
激光束的成形，例如，利用掩膜或多次聚焦
B23K26/064
通过光学元件装置的,例如透镜,反射镜,棱镜
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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