一种蒸发真空镀膜设备
专利申请权、专利权的转移
摘要
本申请提供一种蒸发真空镀膜设备,属于真空镀膜设备技术领域。蒸发真空镀膜设备,用于对柔性膜进行双面镀膜。蒸发真空镀膜设备包括能够提供真空环境的腔室以及设置于腔室内的镀膜组件。镀膜组件包括沿柔性膜的输送路径依次设置的用于对柔性膜的第一表面进行镀膜的第一蒸镀机构、第一冷却主鼓、用于对柔性膜的第二表面进行镀膜的第二蒸镀机构以及第二冷却主鼓。此蒸发真空镀膜设备不仅能够对柔性膜进行双面镀膜,还能够先镀膜、再冷却,可以改善柔性膜局部变形的现象出现,也可以改善镀层上产生褶皱、镀空线等缺陷。
基本信息
专利标题 :
一种蒸发真空镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921685693.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-09
授权号 :
CN210886191U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
张万财冯俊敏吴婷婷
申请人 :
深圳市海瀚新能源技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
郭斌莉
优先权 :
CN201921685693.7
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24 C23C14/56 C23C14/20 C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-02-08 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/24
登记生效日 : 20220121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市海瀚新能源技术有限公司
变更后权利人 : 厦门海辰新能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
变更后权利人 : 361000 福建省厦门市火炬高新区(同翔)产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1
登记生效日 : 20220121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市海瀚新能源技术有限公司
变更后权利人 : 厦门海辰新能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
变更后权利人 : 361000 福建省厦门市火炬高新区(同翔)产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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