一种等离子体CVD晶圆加热器用表面修磨装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子体CVD晶圆加热器用表面修磨装置，特点是从下至上依次设置有安装支架、旋转装置、加热器支撑圆盘、研磨盘，晶圆加热器设置在加热器支撑圆盘和研磨盘之间；研磨盘主体底部设置有研磨块、调节支撑圆柱，研磨盘主体通过调节螺栓与研磨块相连接固定，调节螺栓的上端设置有数显深度测量指示表；安装平板上设置有安装主体，安装主体内部设置有台阶孔，装有旋转电机的固定座下部与台阶孔相配合固定，连接圆盘上端设置有支撑圆盘本体；优点是结构简单，稳定性好，操作方便，研磨快速高效；大大降低了工人的劳动强度，减小了一次修磨量，增加了晶圆加热器的可修磨次数，延长了晶圆加热器的工作寿命，节约了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子体CVD晶圆加热器用表面修磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921655188.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-30
授权号 ：
CN210732123U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
游利吴明飞
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
代理机构 ：
靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
陆平
优先权 ：
CN201921655188.8
主分类号 ：
B24B37/00
IPC分类号 ：
B24B37/00 B24B37/27 B24B37/34 B24B37/11 B24B47/12 B24B41/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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