三轴电容式微加速度计

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计；其中，第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区，质量块通过支撑梁悬空位于所述基底层顶部；摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板，中间极板设置在上极板与下极板之间，上极板位于基底层，下极板位于衬底层。该三轴电容式微加速度计成在同一个芯片上，免除装配过程，具有稳定性高，体积小，制备成本低的优点。

基本信息

专利标题：

三轴电容式微加速度计

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921626254.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-27

授权号：

CN210572371U

授权日：

2020-05-19

发明人：

唐彬张照云谢国芬刘显学熊壮许蔚苏伟彭勃杜连明

申请人：

中国工程物理研究院电子工程研究所

申请人地址：

四川省绵阳市绵山路64号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921626254.9

主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/125