一种涂胶显影设备涂敷单元

授权

摘要

本实用新型涉及半导体集成电路制造技术领域，且公开了一种涂胶显影设备涂敷单元。该涂胶显影设备涂敷单元，包括下盖，所述下盖的上方安装有上盖，所述下盖与上盖的内侧设有内盖，所述内盖的内侧安装有支撑杆，所述支撑杆的顶端安装有吸盘，所述吸盘的顶部吸附有吸附基片，所述上盖的顶端焊接有圆环。本实用新型，通过螺纹套顶端活动安装吸盘，从而方便更换不同尺寸的吸盘，上盖顶端焊接圆环，圆环内侧螺纹连接螺杆，螺杆的一端焊接手轮，且螺杆的另一端活动安装弧形板，三个弧形板两两之间均通过弹性带连接，转动手轮三个弧形板的距离可进行调节，从而实现调节开口的大小，同时可用来与背清喷头精准对位。

基本信息

专利标题：

一种涂胶显影设备涂敷单元

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921604697.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-25

授权号：

CN210776179U

授权日：

2020-06-16

发明人：

沈慕禹

申请人：

绍兴华立电子有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市袍江工业区越东路(方徐村)绍兴华立电子有限公司

代理机构：

浙江永鼎律师事务所

代理人：

陆永强

优先权：

CN201921604697.8

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 H01L21/67