一种洁净涂胶显影装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种洁净涂胶显影装置，包括涂胶显影机，所述涂胶显影机顶部安装有FFU过滤单元，所述FFU过滤单元用于将空气吸入、过滤后送入涂胶显影机内。本实用新型采用FFU过滤单元，空气经过FFU过滤单元净化后送入到涂胶显影机中，提高涂胶显影机内部空气的清洁度。本实用新型采用FFU过滤单元，空气经过FFU过滤单元净化后送入到涂胶显影机中，通过回风管将涂胶显影机内的空气再次送入到FFU过滤单元进行净化，形成循环，保障了涂胶显影机内部空气的清洁度。
基本信息
专利标题 ：
一种洁净涂胶显影装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921579981.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210934130U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
姚舜捷
申请人 ：
上海图双精密装备有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层199室
代理机构 ：
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱明福
优先权 ：
CN201921579981.4
主分类号 ：
B01D46/00
IPC分类号 ：
B01D46/00 B01D53/00 G03F7/16 G03F7/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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