一种半导体基板运输转向装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体基板运输转向装置，属于半导体生产领域，包括底板、运输传送带和转向传送带，所述的底板上设有第一支架和第二支架，第一支架上安装运输传送带，第二支架上设有转向传送带，第二支架和转向传送带设有三组，底板上设有电机，电机输出轴和转轴连接，转轴顶端设有转向圆盘，转向圆盘下方设有四组升降杆，底板上设有抽气机。本实用新型半导体基板通过运输传送带传输经过转向圆盘转向到转向传送带，方便控制半导体基板的运输转向方向，利于半导体基板的运输，减碰撞引起损伤，保证安全性，方便半导体基板的运输转向，保证半导体基板的在转向圆盘上的固定，避免其直接滑出影响半导体基板的运输转向，方便使用。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体基板运输转向装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921557309.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-19
授权号 ：
CN210884134U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
陈建华薛敬伟王锡胜胡长文刘庆贵
申请人 ：
盐城矽润半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市滨海经济开发区工业园人民南路延伸段(滨海治润电子有限公司内)
代理机构 ：
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 ：
丁艳侠
优先权 ：
CN201921557309.5
主分类号 ：
B65G47/52
IPC分类号 ：
B65G47/52
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/52
在输送机之间转移物件或物料的装置，即卸料或供料装置
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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