一种高速DFB激光器外延结构
著录事项变更
摘要
本实用新型提供一种高速DFB激光器外延结构,包括InP衬底,在衬底InP衬底由下至上依次沉积有缓冲层、有源区限制层、下波导层、量子阱、上波导层、有源区上限制层、过渡层、光栅层、联接层、第一势垒渐变层、第二势垒渐变层和欧姆接触层,所述过渡层内插入应变的第一异质结超晶格层、第二异质结超晶格层。该DFB激光器外延结构在InP过渡层中,插入两组应变的异质结超晶格层,应变的异质结超晶格层兼顾腐蚀截止层的作用;并有利于二次外延生长时及InP原子的迁移,能提高光栅掩埋层的材料质量,提高DFB激光器的性能;该DFB激光器外延结构无腐蚀截止层,激光器电阻低,阈值低,无低频滚降现象,能提高高温带宽,使激光器能工作在‑40~85℃的宽的温度范围。
基本信息
专利标题 :
一种高速DFB激光器外延结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921537387.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-17
授权号 :
CN210379766U
授权日 :
2020-04-21
发明人 :
单智发张永姜伟陈阳华
申请人 :
全磊光电股份有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区同龙二路567号1-3层
代理机构 :
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘计成
优先权 :
CN201921537387.9
主分类号 :
H01S5/12
IPC分类号 :
H01S5/12 H01S5/22 H01S5/343
法律状态
2022-02-25 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01S 5/12
变更事项 : 发明人
变更前 : 单智发 张永 姜伟 陈阳华
变更后 : 单智发 张永 陈阳华
变更事项 : 发明人
变更前 : 单智发 张永 姜伟 陈阳华
变更后 : 单智发 张永 陈阳华
2020-04-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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