一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器
授权
摘要
本专利公开了一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器，所述探测器由氧化铝衬底，锑化铟敏感元，二氧化钒光栅结构层，半波天线和器件管座组成。本专利制备的感温型太赫兹探测器，在传统的金属‑半导体‑金属结构基础上，通过引入二氧化钒光栅结构层，利用二氧化钒在环境温度为68℃的相变转换特性，引起光栅结构层的电导率剧烈的变化，进而使整个器件的局域等离子体激元引起的场增强效应不同，达到一种太赫兹波探测的调制目的；在实现了0.01‑3THz的宽波段快速、高灵敏响应的同时，增加了对环境温度感知的新功能。这对于优化器件结构设计和完善器件功能都有着十分重要的意义，在科学和技术等领域将会发挥着重要作用。
基本信息
专利标题 ：
一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921494851.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN210862918U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
黄志明胡涛张惜月陈允枫张志博阎蒋伟潘昌翊谢浩王广艳
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN201921494851.0
主分类号 ：
G01J1/44
IPC分类号 ：
G01J1/44 G01J1/42 G01K7/00 H01L31/10 H01L31/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J1/00
光度测定法，例如照相的曝光表
G01J1/42
采用电辐射检测器
G01J1/44
电路
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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