一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)上安装有驱动机构，所述真空室(1)内安装有第一极靶(41)、第二极靶(42)、用于悬挂工件(7)的转架(2)，所述驱动机构和所述转架(2)连接，所述第一极靶(41)位于所述转架(2)的外圈，所述第二极靶(42)位于所述转架(2)的内圈，且所述第一极靶(41)和第二极靶(42)相互对称设置。本实用新型能够生产多种颜色，色彩较绚丽，结构简单，操作简便，成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921478704.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-06
授权号 ：
CN210916240U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
冯伟吴海平杜晓颖杜国才
申请人 ：
深圳市长兴荣五金制品有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区横岗街道上下路53号厂房1—3层
代理机构 ：
中山市兴华粤专利代理有限公司
代理人 ：
翁晓婵
优先权 ：
CN201921478704.4
主分类号 ：
C23C14/46
IPC分类号 ：
C23C14/46 C23C14/02 C23C14/06 C23C14/08 C23C14/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/46
用外部离子源产生的离子束法
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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