导气垫圈
授权
摘要
本实用新型提供一种导气垫圈，属于专用于制造传感器的设备技术领域，其中，导气垫圈为环形结构，包括：垫圈本体，为环形结构，具有上、下两个结合面；导气凹槽，设置在所述垫圈本体的至少一个所述结合面上，所述导气凹槽连通所述垫圈本体的内外两侧；本实用新型的导气垫圈，在使用时，通过导气凹槽将垫圈本体的内外两侧连通，在不改变垫圈本体原来厚度的前提下，使垫圈本体内圈的空气在抽真空时，能够快速高效的排出，从而避免气体陷入在环形垫圈的内部，提高传感器在超高真空排气时的排气效率和排气效果。
基本信息
专利标题 ：
导气垫圈
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921465887.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-04
授权号 ：
CN210322097U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
张心强靳毅陈林郜晨希王迪林琳郑旭远雁刘瑞琪李超波
申请人 ：
川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市昌平区振兴路36号5楼
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦广成
优先权 ：
CN201921465887.6
主分类号 ：
G01L1/00
IPC分类号 ：
G01L1/00 G01L13/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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