一种真空镀膜的过滤装置
授权
摘要
为了解决真空镀膜的过程中真空镀膜的过滤装置内过滤棉使用寿命缩短的问题，本实用新型提出一种真空镀膜的过滤装置，通过接一个弯管将进气阀的进气部分转换到净化室内，同时在进气孔的位置包一层无尘布，可以有效的将过滤装置内的过滤棉的使用周期延长至18个月左右，一种真空镀膜的过滤装置，其包括：过滤器3和进气管道2，所述进气管道2的一端连接在镀膜机1上，另一端连接在过滤器3上；所述过滤器3通过进气管道2连接于车间内部，其特征在于：镀膜机1包括6个面，镀膜机正面11、镀膜机背面13镀膜机顶面14、镀膜机底面15、第一镀膜机侧面12和第二镀膜机侧面16，只有镀膜机正面11位于车间内部，其余都位于车间外部。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜的过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921444310.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210529035U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
袁小夫舒本剑
申请人 ：
安徽安合鑫光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市苏滁现代产业园泉州路100号苏滁现代工业坊四号厂区10号标准厂房
代理机构 ：
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹恒涛
优先权 ：
CN201921444310.7
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 B01D46/30 B01D46/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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