一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置
授权
摘要
提供了一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置，该装置的光电探测器(4)从光斑检测面(5)上的光斑入射孔探测获取经聚焦透镜(13)聚焦的激光光斑，经信号发送线(3)发送至与其相连的中央处理器(1)，中央处理器(1)根据光斑信号数据变化向经信号接收线(3)与其相连的X、Y、Z向步进电机发送移动指令，直至光斑检测面(5)移动至激光焦点处，本实用新型运用平移台控制模块对光斑检测面位置进行反馈调节，实现对激光聚焦焦点位置的自动化寻找，同时可实现待测样品的精确置位，且可运用滤波图像重构模块实现对微小光斑的扫描成像。本实用新型适用于高超真空封闭空间，具备操作简易，测量方法灵活，系统架构简单，搭建成本较低等显著优势。
基本信息
专利标题 ：
一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921411525.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-28
授权号 ：
CN210220974U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
张超凡毛元昊闫申郭川杨子宁王红岩韩凯许晓军
申请人 ：
中国人民解放军国防科技大学
申请人地址 ：
湖南省长沙市开福区德雅路109号
代理机构 ：
长沙国科天河知识产权代理有限公司
代理人 ：
董惠文
优先权 ：
CN201921411525.9
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/03 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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