机台冷却水调节装置
授权
摘要
本实用新型提供一种机台冷却水调节装置，包含：一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游，所述流量调节阀与所述调节控制器连接。据此，能够实现对冷却水流量的实时侦测，并且根据侦测结果通过调节控制器内部电路连接后输出一执行信号，所述执行信号将驱动流量调节阀运动，从而调节管路中的冷却水流量。进而，减少了操作人员的介入，提高机台冷却水流量控制的机电化程度，使得管路中的水流量稳定在设定范围内。
基本信息
专利标题 ：
机台冷却水调节装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921401650.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210272274U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
曹靖波俞玮何春雷
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
顾浩
优先权 ：
CN201921401650.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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