晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置，涉及晶圆固定装置的技术领域，本实用新型提供的晶圆吸盘具有吸附端面；吸附端面凹陷形成镂空部和第一负压槽，镂空部与第一负压槽间隔设置；晶圆吸盘设有第一流体通道，且第一流体通道与第一负压槽流体连通；本实用新型提供的晶圆吸盘缓解了现有技术中晶圆吸盘对晶圆造成磨损的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921349072.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-20
授权号 ：
CN210650183U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
张启兴
申请人 ：
浙江晶特光学科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号研发大楼301室
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王秋月
优先权 ：
CN201921349072.1
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06 H01L21/683
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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