一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构，设置有工件小车，工件小车设置有移动装置，移动装置设置有驱动工件小车移动的驱动组件和在工件小车退出真空镀膜室后支撑工件小车的支撑组件。本实用新型的进出料机构可以很好的适配卧式结构设计的真空镀膜机，解决卧式结构设计的真空镀膜机的进出料问题，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921320501.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN211497759U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
罗立珍李纲郑启发华冬辉
申请人 ：
湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市宁乡金洲新区金洲北路98号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
赵琴娜
优先权 ：
CN201921320501.2
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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