本实用新型揭示一种垂直式等离子蚀刻机的反应室腔体，包括反应腔本体，所述反应腔本体左侧的底部连通有回流管，所述回流管的左侧连通有收集箱，所述收集箱的顶部通过管道连通有吸泵，所述吸泵的出水端连通有高压喷头，且高压喷头延伸至反应腔本体的内腔。本实用新型通过吸泵吸取收集箱内腔蚀刻机液体，通过高压喷头高压喷淋，进行蚀刻工作，蚀刻机液体通过第一过滤板的过滤流入回流管内，再由第二过滤板过滤，最终流入收集箱内，从而进行循环使用，从而提高第一过滤板和第二过滤板的过滤效果，解决了蚀刻机在使用过程中蚀刻机液体可循环使用，但是没有经过过滤的蚀刻机液体直接使用会对蚀刻机造成危害的问题。