一种硅基扇出型晶圆级封装结构
授权
摘要
本实用新型公开一种硅基扇出型晶圆级封装结构,属于集成电路封装领域。所述硅基扇出型晶圆级封装结构包括硅基,其第一面刻蚀有散热通道,散热通道上沉积有截止层;所述硅基的第二面刻蚀有凹槽并埋入芯片;所述芯片的焊盘通过第一层布线和微凸点与n层布线连接;所述n层布线连接有最后一层布线,所述最后一层布线上制作有阻焊层和凸点。
基本信息
专利标题 :
一种硅基扇出型晶圆级封装结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921226336.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-31
授权号 :
CN210224007U
授权日 :
2020-03-31
发明人 :
王成迁明雪飞吉勇
申请人 :
中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人地址 :
江苏省无锡市滨湖区惠河路5号
代理机构 :
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨立秋
优先权 :
CN201921226336.4
主分类号 :
H01L23/31
IPC分类号 :
H01L23/31 H01L23/367 H01L23/488
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/28
封装,例如密封层、涂覆物
H01L23/31
按配置特点进行区分的
法律状态
2020-03-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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