本实用新型公开了固定装置技术领域的一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座，所述底座顶端开设有弹簧槽，所述弹簧槽内滑动连接有支撑板，所述支撑板底端与弹簧槽槽底之间均匀设置有第一弹簧，所述底座顶端设置有U型框，实用新型通过设置的弹簧槽、第一弹簧和支撑板，使得装置在纵向上有一定的减震效果，通过设置的U型杆、第二弹簧和夹板，使得装置能够夹紧不同尺寸的扩膜机，安装夹紧过程简单，便于使用，且该结构设计使得其在横向上具有一定减震效果，通过设置的散热风机，能够及时快速的冷却扩膜机上的加热工作盘，且设置的可升降的竖板，能够根据不同尺寸扩膜机灵活调整散热风机高度，增加了设备的实用性。