一种掩膜板清洗装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。
基本信息
专利标题 ：
一种掩膜板清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921168514.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210090914U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
孙荣兵
申请人 ：
昆山维信诺科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
康艳艳
优先权 ：
CN201921168514.2
主分类号 ：
G03F1/82
IPC分类号 ：
G03F1/82
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/68
未包含在G03F1/20至G03F1/50组中的制备工艺
G03F1/82
辅助工艺，例如清洗
法律状态
2020-12-01 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G03F 1/82
变更事项 : 专利权人
变更前 : 昆山维信诺科技有限公司
变更后 : 苏州清越光电科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
变更后 : 215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 昆山维信诺科技有限公司
变更后 : 苏州清越光电科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
变更后 : 215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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