一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器
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摘要
本实用新型公开了一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器。该传感器结构自下而上依次包括：硅衬底层，其中部有凹槽作为隔热腔体；支撑层，其包括支撑悬梁和绝缘区，绝缘区位于硅衬底层隔热腔体上方，绝缘区通过四根支撑悬梁与硅衬底层相连；电极层，其包括加热电极、叉指电极、供电引线和测试引线，加热电极呈折线形分布于绝缘区两侧，并通过供电引线与供电电极相连；叉指电极分布于绝缘区中心，并通过测试引线与测试电极相连；气敏层，其覆盖于叉指电极上，并与所述叉指电极电连接。本实用新型功耗较小、绝热性良好。同时，温度控制更加合理，避免了叉指电极与加热电极因低阻气敏材料加载导致的短路现象。
基本信息
专利标题 ：
一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921159036.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN210626385U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
张晓徐瑶华刘皓赵文瑞魏峰
申请人 ：
有研工程技术研究院有限公司
申请人地址 ：
北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
代理机构 ：
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘秀青
优先权 ：
CN201921159036.9
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 G01N27/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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