一种晶体材料反应器
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摘要

本实用新型公开了一种晶体材料反应器。它包括炉体、炉体底部设置的一对电极、位于电极旁侧的进气管口和出气管口以及该对电极上连接的一对位于炉体内的高纯硅芯,炉体外设置有冷却夹套,炉体的一侧设置有一个冷却塔和一个与冷却塔进行连接的水箱,冷却夹套的下部设置有与冷却塔连接的冷却水进口,冷却夹套的上部设置有与水箱连接的冷却水出口,冷却塔和水箱之间设置有水泵。优点是:采用高纯硅芯,通过红外的石英加热,能够有效避免钽金属杂质,通过冷却塔对炉体进行冷却,大大提高了冷却效果,不但节约了循环水资源,而且大大提高了冷却效率,冷却盘管与冷却塔配合可以进行辅助冷却,不但进一步提高了冷却效率,而且还提高了炉体整体冷却均匀性。

基本信息
专利标题 :
一种晶体材料反应器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921002260.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210313552U
授权日 :
2020-04-14
发明人 :
徐昆仑莫修乾
申请人 :
江苏东方瑞吉能源装备有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市新区临江西路60号
代理机构 :
镇江京科专利商标代理有限公司
代理人 :
夏哲华
优先权 :
CN201921002260.7
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2020-04-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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