一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置
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摘要
本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921000339.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN209894400U
授权日 ：
2020-01-03
发明人 ：
张青涛饶杰奎解孝辉
申请人 ：
吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路869号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈婷婷
优先权 ：
CN201921000339.6
主分类号 ：
G01L27/00
IPC分类号 ：
G01L27/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L27/00
用于测量流体压力的仪表的检测或校准
法律状态
2020-01-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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