本实用新型涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配腔；盖体与装配座装配式连接，装配座能盖合于分配腔的开放面；进气口连通至分配腔。本申请实施例中蒸发源分配装置的盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。