气泡排除装置及匀胶机

授权

摘要

本申请公开了一种气泡排除装置及匀胶机，气泡排除装置包括第一储胶容器以及第二储胶容器，第二储胶容器密封设置，第一储胶容器与第二储胶容器之间通过第一输送管连接，第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，第二输送管上设有第一阀门；气泡收集容器，气泡收集容器密封设置，气泡收集容器与第二储胶容器通过第三输送管连接；抽气装置，抽气装置与气泡收集容器连接，以抽取气泡收集容器中的空气。本申请提供的气泡排除装置及匀胶机可实现排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片表面上涂覆的均匀性，提高了成品率。

基本信息

专利标题：

气泡排除装置及匀胶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920888347.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-13

授权号：

CN210675762U

授权日：

2020-06-05

发明人：

沈克简永幸张雷

申请人：

厦门通富微电子有限公司

申请人地址：

福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦10楼1001单元F0193

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭栋梁

优先权：

CN201920888347.2

主分类号：

B05C5/02

IPC分类号：

B05C5/02 B05C11/10