一种精简工艺的微镜芯片
授权
摘要
本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构；该结构工艺上利于实现，不挑战工艺难点，可以大大简化面外运动加工难度，实现大角度，大质量块驱动；相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。
基本信息
专利标题 ：
一种精简工艺的微镜芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920787734.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN210366974U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
陈巧
申请人 ：
苏州知芯传感技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
田凌涛
优先权 ：
CN201920787734.7
主分类号 ：
B81B5/00
IPC分类号 ：
B81B5/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B5/00
由彼此相对移动的元件组成的装置，例如由滑动或转动元件组成
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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