本实用新型公开了一种TMA介质的供给系统，包括TMA钢瓶和控制输送管路，所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道的一端与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀；所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀，所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀；本实用新型的有益效果是：通过增加独立的供给系统，改善生产工艺，达到了提高转换效率的目的。