一种旋转支撑废气处理设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种旋转支撑废气处理设备,涉及半导体行业废气处理技术领域,包括机台本体,所述机台本体包括机架以及安装于机架内的废气处理系统,本实用新型通过设置等离子体火炬、反应塔、水箱和洗涤塔,实现废气的处理,通过设置支撑架、伺服电机辅助反应塔从机台本体中旋转出,且由于设置了伺服电机,可以控制旋转位置,实现自定位,直接在助力支撑装置上进行清洗维护,避免了因机台本体内部维护空间狭小导致的反应塔维护、安装与拆卸的不便,通过设置助力支撑装置,避免支撑架单点受力不牢靠,增加旋转支撑装置结构的稳定性,本装置结构简单,实用性高、维护省时省力。

基本信息
专利标题 :
一种旋转支撑废气处理设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920697380.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-16
授权号 :
CN210332228U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
宁腾飞杨春水陈彦岗杨春涛章文军张继飞张坤闫萧蔡传涛席涛涛王磊
申请人 :
北京京仪自动化装备技术有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
代理机构 :
芜湖思诚知识产权代理有限公司
代理人 :
崔金
优先权 :
CN201920697380.7
主分类号 :
B01D53/74
IPC分类号 :
B01D53/74  B01D53/18  F23G7/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法;为这类方法特别设计的设备或装置
法律状态
2021-10-15 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B01D 53/74
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京京仪自动化装备技术有限公司
变更后 : 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100000 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
变更后 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332