一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置
授权
摘要
本实用新型涉及靶材绑定控制设备技术领域，尤其是指一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括一外发热包组和一内发热包组，三相电源输入端并联有两组温控系统，各温控系统分别调控外发热包组和内发热包组的发热温度。本实用新型经由两套相互独立的温控系统对靶材温度对背管温度按预先设置好的温度曲线独立控制，其绑定效率高，操作方便。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920685042.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-14
授权号 ：
CN210209037U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
李兵
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201920685042.1
主分类号 ：
B23K20/02
IPC分类号 ：
B23K20/02 B23K20/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K20/00
利用冲击或其他压力的非电焊接，用或不用加热，例如包覆或镀敷
B23K20/02
利用压力机
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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