一种装载光学镀膜夹具的器具
授权
摘要
本实用新型提供一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具，本方案通过采用三段式的圆环结构，能够方便对夹具的支撑与固定，另外第一圆环及第二圆环作为抓取的承受壁，便于将夹具取出进行翻面。
基本信息
专利标题 ：
一种装载光学镀膜夹具的器具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920677746.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-13
授权号 ：
CN210001925U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
肖家骐陈东旭罗江平陆绿
申请人 ：
福建中科光芯光电科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
吴志龙
优先权 ：
CN201920677746.4
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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