本实用新型公开了一种单晶制绒设备的防倒灌装置，主要涉及单晶制绒设备领域，包括有制绒槽、主排阀、U型管、溢流管、液位光电感应器、缓冲槽、液位管、排液管，所述U型管加装在单晶制绒槽排液管路和缓冲槽中间，U型管设计增加了废液从低液位端倒灌回高液位处的难度，排液管路用于连接制绒槽和缓冲槽，同时将废液排出到废液处理站，本实用新型通过U型管、缓冲槽、主排阀相互间的配合解决的技术问题是可以完全杜绝单晶制绒槽的倒灌异常，保证了单晶制绒工艺稳定性。