升降装置
授权
摘要
本实用新型提供一种升降装置，其将负载是否被吸附在载台上的宏观表现转换为驱动器的驱动电流的微观变化，进而可根据驱动器的驱动电流的变化控制推杆的升降，从而可避免晶圆推杆顶破的情况发生，大大提高了产品良率。
基本信息
专利标题 ：
升降装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920517573.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-16
授权号 ：
CN209496848U
授权日 ：
2019-10-15
发明人 ：
曾议锋刘家桦叶日铨
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920517573.X
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2019-10-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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