一种防泄漏的TMAH提纯设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种防泄漏的TMAH提纯设备，包括槽壳，所述槽壳内安装有槽壳板，所述槽壳板的顶端安装有支柱，且支柱位于槽壳的顶端两侧位置，所述槽壳板的顶端安装有内衬板，所述内衬板的顶端安装有结壳，所述结壳的顶端安装有阴极，所述阴极的顶端安装有第一阳极，所述第一阳极的一侧安装有第二阳极，所述第一阳极的顶端安装有第一固定板，本实用新型外侧顶部设置有散热板，散热板与边板均设置有散热效果，对本设备内侧进行温度的把控，进一步的保证设备内部提纯的质量，增加工作质量，提高生产效益，本实用新型内侧设置有两个阳极进行反应，保证了产品的质量，优质的作出想要的纯浓度。
基本信息
专利标题 ：
一种防泄漏的TMAH提纯设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920441855.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN210176759U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
梁海慧杨伟林
申请人 ：
厦门积光集成电路科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区信息光电园金丰大厦101室（林后西路1号）
代理机构 ：
厦门原创专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐东峰
优先权 ：
CN201920441855.6
主分类号 ：
C07C209/84
IPC分类号 ：
C07C209/84 C07C211/63
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07C
无环或碳环化合物
C07C209/00
含氨基连接在碳架上的化合物的制备
C07C209/82
纯化；分离；稳定化；添加剂的使用
C07C209/84
纯化
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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