TEM样品杆及TEM机台
授权
摘要
本实用新型提供了一种TEM样品杆及TEM机台。所述TEM样品杆包括杆身、位于所述杆身的一端的样品放置部、与所述杆身的另一端连接的手持部以及设置于所述手持部的气泡平衡仪。应用本实用新型提供的TEM样品杆，可以监控并以此调节实际操作过程中TEM样品杆的水平度及角度，从而改善TEM机台主体仓破真空的问题。
基本信息
专利标题 ：
TEM样品杆及TEM机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920396404.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-26
授权号 ：
CN209927733U
授权日 ：
2020-01-10
发明人 ：
熊娇李桂花刘君芳刘慧丽李辉
申请人 ：
武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
屈蘅
优先权 ：
CN201920396404.5
主分类号 ：
G01N21/84
IPC分类号 ：
G01N21/84 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2020-01-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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