原子力显微术探针夹持装置

授权

摘要

本发明涉及一种原子力显微术探针夹持装置，其包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。

基本信息

专利标题：

原子力显微术探针夹持装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111077347A

申请号：

CN201911352865.3

公开（公告）日：

2020-04-28

申请日：

2019-12-25

授权号：

CN111077347B

授权日：

2022-05-03

发明人：

蔡微王伟

申请人：

北京航空航天大学

申请人地址：

北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学主楼303

代理机构：

北京易光知识产权代理有限公司

代理人：

崔晓光

优先权：

CN201911352865.3

主分类号：

G01Q60/38

IPC分类号：

G01Q60/38