探针驱动方法及装置
授权
摘要
本发明提供一种探针驱动方法及装置，该驱动方法：使一探针机构的探针在一探针座上被以一固定件固设于一第一座架上的一微动机构的一联结件连动；该联结件被固设于该固定件的一第一簧片及一第二簧片一端所固设，并被一驱动机构所驱动；借此使高频率的检测作业可以被执行。
基本信息
专利标题 ：
探针驱动方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111579829A
申请号 ：
CN201911141651.1
公开（公告）日 ：
2020-08-25
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN111579829B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
林芳旭黄子展林铭展纪建兆
申请人 ：
万润科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾高雄市821路竹区路科十路1号
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
喻学兵
优先权 ：
CN201911141651.1
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067 G01R1/073 G01R31/01 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-09-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/067
申请日 : 20191120
申请日 : 20191120
2020-08-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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