一种具有新型结构与材料的选通管的制备方法
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摘要
本发明公开了一种具有新型结构与材料的选通管的制备方法,包括如下步骤:S1、提供一半导体衬底;S2、沉积一层第一金属电极层;S3、制备电热绝缘层;S4、刻蚀小孔;S5、向小孔中依次填充二维材料层和开关层插塞柱;S6、制备第二金属电极层。开关层插塞柱是在电流或电压激励下可以形成导电丝的材料;在选通管功能层和电极之间加一层类似于石墨烯的渗透性较差的二维材料,利用二维材料可以产生缺陷,而根据导电丝会沿着缺陷生长的性质,当缺陷的面积很小时,形成的导电丝很细,这样当施加给选通管的激励消失时,导电丝更容易消失,选通管更容易关闭,使选通管的性能得到了极大的改善,有效克服了现有技术的种种缺点而具有高度产业价值。
基本信息
专利标题 :
一种具有新型结构与材料的选通管的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110931637A
申请号 :
CN201911046710.7
公开(公告)日 :
2020-03-27
申请日 :
2019-10-30
授权号 :
CN110931637B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
童浩王伦林琪缪向水
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
宋敏
优先权 :
CN201911046710.7
主分类号 :
H01L45/00
IPC分类号 :
H01L45/00
法律状态
2022-04-29 :
授权
2020-04-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 45/00
申请日 : 20191030
申请日 : 20191030
2020-03-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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