一种具有夹持式定子的精密直线驱动装置
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摘要
一种具有夹持式定子的精密直线驱动装置，以解决当前压电粘滑直线驱动装置行程小、无自定心功能、位移回退明显等问题。本发明由基座单元、固定导轨组件、滑动导轨单元、驱动单元、上盖组件、调节杆组件组成，固定导轨组件与基座单元通过螺钉连接，滑动导轨单元与固定导轨组件配合安装，驱动单元安装固定在上盖组件之上并通过调节杆组件将它们与基座单元连接。本发明通过对驱动装置的结构设计实现对驱动阶段摩擦力的综合调控及其自定心功能，显著提高直线驱动装置的定位精度，减少位移回退；可广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。
基本信息
专利标题 ：
一种具有夹持式定子的精密直线驱动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110581670A
申请号 ：
CN201910922755.X
公开（公告）日 ：
2019-12-17
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN110581670B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
程廷海乔广达高强于洋卢晓晖张晓松李义康徐毓鸿
申请人 ：
长春工业大学
申请人地址 ：
吉林省长春市朝阳区延安大街2055号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201910922755.X
主分类号 ：
H02N2/02
IPC分类号 ：
H02N2/02 H02N2/04
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 2/02
申请日 : 20190927
申请日 : 20190927
2019-12-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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