具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置
授权
摘要
本发明提供一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置，包含：一第一腔室，一覆晶薄膜进入或离开第一腔室，并于第一腔室中进行覆晶薄膜的测试；一温度调整腔，覆晶薄膜进入温度调整腔后，覆晶薄膜的温度获得预先调整至一第一设定温度；一温度回温腔，覆晶薄膜进入温度回温腔后，覆晶薄膜的温度获得回温至一第二设定温度；一通道，连通温度调整腔与温度回温腔，并让覆晶薄膜于通道中移动；以及一推板，推板预先调整至第一设定温度后，用以支撑通道中的覆晶薄膜，使通道中的覆晶薄膜于开口中测试区以接触一探针卡，并在测试规范温度中测试该覆晶薄膜；其中，第一腔室包覆温度调整腔、温度回温腔、通道、以及推板。
基本信息
专利标题 ：
具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111090013A
申请号 ：
CN201910519990.2
公开（公告）日 ：
2020-05-01
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN111090013B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
甘中元
申请人 ：
锋华科技股份有限公司;甘中元
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙乳笋
优先权 ：
CN201910519990.2
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 G05D23/19
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-05-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/00
申请日 : 20190617
申请日 : 20190617
2020-05-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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