干涉图像取得装置和干涉图像取得方法
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摘要

干涉图像取得装置(1)包括光源(11)、分光镜(12)、物镜(13)、物镜(14)、第2反射镜(15)、镜筒透镜(16)、分光镜(17)、摄像器(18)和第1反射镜(20)。在透明件(容器(70)的底部)的一侧配置有细胞(73),在该透明件的另一侧配置有第1反射镜(20)。在双光束干涉计中,由第1反射镜(20)反射的第1光束的光程与由第2反射镜(15)反射的第2光束的光程之间的光程差为从光源(11)输出的光的相干长度以下。摄像器(18)在摄像面与第1反射镜(20)之间的第1光学系统中相对于摄像面共轭的位置配置有细胞(73)的状态下取得干涉图像。由此,能够实现在反射镜与对象物彼此隔开间隔时能够取得鲜明的干涉图像的装置和方法。

基本信息
专利标题 :
干涉图像取得装置和干涉图像取得方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111556951A
申请号 :
CN201880085772.6
公开(公告)日 :
2020-08-18
申请日 :
2018-11-22
授权号 :
CN111556951B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
山内丰彦后藤谦太郎松井永幸平川聪史山田秀直
申请人 :
浜松光子学株式会社;国立大学法人浜松医科大学
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN201880085772.6
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  G01B11/24  G01B21/00  G01N21/45  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-09-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20181122
2020-08-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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