表面处理装置和搬送治具

授权

摘要

表面处理装置(10)具有：表面处理槽(200)，其收纳处理液(Q)，具有上部开口(200A)；搬送治具(30)，其包含将工件(20)保持为从表面处理槽的上部开口向处理液内垂下的工件保持部(340)，并且该搬送治具(30)沿着搬送方向(A)对工件(20)进行搬送；供电部(260)，其与搬送治具接触，向工件供电；驱动部(270)，其向搬送治具赋予驱动力，对搬送治具进行搬送驱动；以及引导部(280)，其与搬送治具接触，对搬送治具进行搬送引导，在俯视观察时，引导部与工件保持部的距离(L1)比驱动部与工件保持部的距离(L2)短，并且比供电部与工件保持部的距离(L3)短。

基本信息

专利标题：

表面处理装置和搬送治具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110709538A

申请号：

CN201880034079.6

公开（公告）日：

2020-01-17

申请日：

2018-05-25

授权号：

CN110709538B

授权日：

2022-04-12

发明人：

石井胜己渡边重幸

申请人：

ALMEXPE株式会社

申请人地址：

日本栃木县

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

于靖帅

优先权：

CN201880034079.6

主分类号：

C25D17/08

IPC分类号：

C25D17/08 B23P19/00 C25D17/06 C25D21/00