本发明为一种用于遮罩的复合清洁装置及方法，其中该用于遮罩的复合清洁装置包括：清洁槽，该清洁槽储存用于清洁遮罩的清洁液；外储存槽，将该外储存槽安装在清洁槽的外周，以临时储存从所述清洁槽中溢流出的清洁液；喷雾喷嘴单元，将该喷雾喷嘴单元安装在清洁槽顶部，将清洁液喷射到从清洁槽内部提起的遮罩上；及循环供给装置，该循环供给装置使得喷出的清洁液回流到所述清洁槽中。实现了异物的完全移除,阻止了异物粘附于从清洁槽内部提起的遮罩上，从而防止了带有异物的遮罩引起压花缺陷的风险，并大大地提高了清洁效果。