脉冲信号控制方法和装置、等离子体刻蚀方法和设备
授权
摘要
本发明提供了一种用于等离子体刻蚀设备的脉冲信号控制方法，等离子体刻蚀设备包括上电极射频电源和下电极射频电源，脉冲信号控制方法包括：开启上射频电源，并输出具有第一脉冲频率和第一脉冲占空比的上射频电源信号；延迟预设时间后，开启下射频电源，并输出具有第二脉冲频率和第二脉冲占空比的下射频电源信号；其中，上射频电源信号具有第一脉冲宽度，下射频电源信号具有第二脉冲宽度，预设时间小于第一脉冲宽度；第二脉冲占空比小于第一脉冲占空比；第一脉冲频率与第二脉冲频率相同。所述脉冲信号控制方法可以降低下射频电源的匹配难度，实现快速匹配并提高刻蚀工艺选择比。
基本信息
专利标题 ：
脉冲信号控制方法和装置、等离子体刻蚀方法和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110739197A
申请号 ：
CN201810791491.4
公开（公告）日 ：
2020-01-31
申请日 ：
2018-07-18
授权号 ：
CN110739197B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
杨京韦刚苏恒毅成晓阳
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810791491.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-02-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180718
申请日 : 20180718
2020-01-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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