铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜...
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，包括反应容器、设于反应容器外并与之连通的真空泵、设于反应容器内的加热装置和给反应容器内提供等离子体的等离子体发生装置，所述反应容器下方设有上端伸入反应容器内部的转动轴，所述反应容器还连通设有保护气体输入装置和硒化和/或硫化反应源装置。本实用新型可以保持原有方法的较高转换效率，也避免使用硒化氢或硫化氢等剧毒气体，提高镀膜加工安全，还提高了硒源和/或硫源的使用效率。
基本信息
专利标题 ：
铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820161549.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-07
授权号 ：
CN201268719Y
授权日 ：
2009-07-08
发明人 ：
刘穆清窦晓明唐健范滨
申请人 ：
苏州富能技术有限公司
申请人地址 ：
215021江苏省苏州市工业园区旺墩路188号建屋大厦205室
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范 晴
优先权 ：
CN200820161549.9
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/54 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2017-11-24 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/22
申请日 : 20081007
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20161007
申请日 : 20081007
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20161007
2011-04-13 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101080284711
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL2008201615499
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏州富能技术有限公司
变更后权利人 : 光驰科技(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215021 江苏省苏州市工业园区旺墩路188号建屋大厦205室
变更后权利人 : 200436 上海市宝山城市工业园城银路267号
登记生效日 : 20110303
号牌文件序号 : 101080284711
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL2008201615499
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏州富能技术有限公司
变更后权利人 : 光驰科技(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215021 江苏省苏州市工业园区旺墩路188号建屋大厦205室
变更后权利人 : 200436 上海市宝山城市工业园城银路267号
登记生效日 : 20110303
2009-07-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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