一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，属于真空设备领域。该加热器包括两块耐高温不锈钢板和一根超细电阻加热丝，两块耐高温不锈钢板上下叠放，固定在一起，所述超细电阻加热丝均匀排放在上述耐高温不锈钢板之间的缝隙里。本实用新型克服了普通加热器的高温状态有挥发物的缺陷，制备高品质薄膜的成膜效率高。且输入电功率低，升温速度快，耐用，寿命长。

基本信息

专利标题：

一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820108886.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-06-27

授权号：

CN201224757Y

授权日：

2009-04-22

发明人：

连贵君熊光成

申请人：

北京大学

申请人地址：

100871北京市海淀区颐和园路5号

代理机构：

北京君尚知识产权代理事务所

代理人：

贾晓玲

优先权：

CN200820108886.1

主分类号：

C23C14/26

IPC分类号：

C23C14/26

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

C23C14/26

电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法

法律状态

2014-08-13 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101584489950
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2008201088861
申请日 : 20080627
授权公告日 : 20090422
终止日期 : 20130627

2009-04-22 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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