推片机
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种推片机,涉及电子器件的制造技术。解决了现有技术中在不同的晶舟盒之间转移硅片的过程中易发生硅片冲撞,导致硅片损坏的技术问题。本实用新型所提供的推片机,包括推挡件和支撑台,所述推挡件设在所述支撑台上。本实用新型应用于在不同的晶舟盒之间转移硅片。
基本信息
专利标题 :
推片机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820108532.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-06-16
授权号 :
CN201229935Y
授权日 :
2009-04-29
发明人 :
林大野
申请人 :
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请人地址 :
100871北京市海淀区成府路298号方正大厦5层
代理机构 :
北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人 :
申 健
优先权 :
CN200820108532.7
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677 B65G47/82
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2018-07-13 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20080616
授权公告日 : 20090429
申请日 : 20080616
授权公告日 : 20090429
2010-05-26 :
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101002378359
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2008201085327
合同备案号 : 2010110000037
让与人 : 北大方正集团有限公司
受让人 : 深圳方正微电子有限公司
实用新型名称 : 推片机
申请日 : 20080616
授权公告日 : 20090429
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20100401
号牌文件序号 : 101002378359
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2008201085327
合同备案号 : 2010110000037
让与人 : 北大方正集团有限公司
受让人 : 深圳方正微电子有限公司
实用新型名称 : 推片机
申请日 : 20080616
授权公告日 : 20090429
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20100401
2009-04-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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