一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置，包括紧密连接的本体前段、本体中段和本体后段，所述本体前段上部设有阶梯状通孔，所述本体中段的上部设有通孔，该通孔后端设有一段螺纹，所述本体后段上部一端设有盲螺孔，上述通孔及盲螺孔紧密连接成组合式长盲螺孔，该组合式长盲螺孔内设有一锁紧螺杆，所述锁紧螺杆包括后部沉头螺帽，中部光滑柱体、前部螺杆，该锁紧螺杆能将本体前段、本体中段和本体后段紧密螺接成一体。本实用新型简化了气体层流通道的加工程序，提高了气体层流通道的加工精度，密封组合后形成稳定的气体层流通路，加工方便，操作简单，大大降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820092383.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-03

授权号：

CN201212592Y

授权日：

2009-03-25

发明人：

芦惠云

申请人：

芦惠云

申请人地址：

523000广东省东莞市南城区莞太大道255号广彩城宿舍20-304号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200820092383.X

主分类号：

F16L9/22

IPC分类号：

F16L9/22 F16B7/18